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中圖儀器3D輪廓光學(xué)測量儀測量大尺寸樣品時(shí)支持拼接功能，將測量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

在同等系統(tǒng)放大倍率下，以白光干涉技術(shù)為原理的SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀的檢測精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級和亞納米級超精密加工領(lǐng)域提供高精度檢測功能。

中圖儀器粗糙度輪廓儀檢測設(shè)備是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器，具有12mm的粗糙度測量范圍，分辨率達(dá)到1nm，適合測量大曲面上的表面粗糙度，同時(shí)具備軸承輪廓度評價(jià)功能，能夠滿足軸承行業(yè)的測量需求。

SJ5800國產(chǎn)表面粗糙度輪廓儀具有12mm的粗糙度測量范圍，分辨率達(dá)到1nm，適合測量大曲面上的表面粗糙度，同時(shí)具備軸承輪廓度評價(jià)功能，能夠滿足軸承行業(yè)的測量需求。廣泛應(yīng)用于精密機(jī)械加工、汽車、軸承、機(jī)床、模具、精密五金、光學(xué)加工等行業(yè)。對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實(shí)現(xiàn)一次掃描測量，尤其是大范圍曲面、斜面進(jìn)行粗糙度檢測，如圓弧面和球面、異型曲面進(jìn)行多種粗糙度參數(shù)、微觀輪廓度參數(shù)的測量

SuperViewW1高精度3d輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。

中圖儀器SuperViewW1白光3D輪廓儀非接觸高精密測量方式，不會(huì)劃傷甚至破壞工件，且測量速度快，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測量。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，可測量各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。