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當前位置:首頁產(chǎn)品中心激光測量儀激光干涉儀SJ6000激光干涉儀測量系統(tǒng)
激光干涉儀測量系統(tǒng)

產(chǎn)品簡介

中圖儀器SJ6000激光干涉儀測量系統(tǒng)可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測,結合軟件系統(tǒng),可以用于速度,加速度,振動分析以及穩(wěn)定度等分析,實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù),進行動態(tài)特性分析。

產(chǎn)品型號:SJ6000
更新時間:2024-05-12
廠商性質:生產(chǎn)廠家
訪問量:1534
詳細介紹在線留言

中圖儀器SJ6000激光干涉儀測量系統(tǒng)可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測,結合軟件系統(tǒng),可以用于速度,加速度,振動分析以及穩(wěn)定度等分析,實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù),進行動態(tài)特性分析。


功能

1.可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;

2.可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

3.可實現(xiàn)龍門機床雙軸同步測量;

4.可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準;

5.可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據(jù);

6.具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等;

7.支持手動或自動進行環(huán)境補償。


SJ6000激光干涉儀,國產(chǎn)激光干涉儀品牌.jpg


中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SJ6000激光干涉儀測量系統(tǒng)測量分辨率可達0.01″,系統(tǒng)測量精度為±1″,基準WR50自動精密轉臺重復精度為0.2″。主要由SJ6000激光干涉儀主機、角度鏡組、WR50自動精密轉臺、SJ6000回轉軸測量軟件構成。作為一個交流測試系統(tǒng),當激光光束強度受環(huán)境影響發(fā)生變化時,其頻率不會受光強變化影響發(fā)生變化,也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此,它的抗擾力強,精度高,測量結果可靠,在精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領域得到廣泛應用。

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