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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心激光測量儀激光干涉儀SJ6000激光干涉測量系統(tǒng)
激光干涉測量系統(tǒng)

產(chǎn)品簡介

中圖儀器SJ6000激光干涉測量系統(tǒng)具有高精度、高靈敏度、非接觸式測量等優(yōu)點,被廣泛應(yīng)用于工程和科研領(lǐng)域。在工程領(lǐng)域,它可以用于測量材料變形、振動、熱膨脹等力學(xué)特性;在科研領(lǐng)域,可以用于光學(xué)元件表面形貌、復(fù)雜形狀的物體三維形貌和運動學(xué)研究等。

產(chǎn)品型號:SJ6000
更新時間:2024-05-13
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:941
詳細(xì)介紹在線留言

中圖儀器SJ6000激光干涉測量系統(tǒng)也就是激光干涉儀,是一種利用光的干涉原理來測量物體長度、厚度、形狀、折射率等參數(shù)的儀器。它具有高精度、高靈敏度、非接觸式測量等優(yōu)點,被廣泛應(yīng)用于工程和科研領(lǐng)域。在工程領(lǐng)域,它可以用于測量材料變形、振動、熱膨脹等力學(xué)特性;在科研領(lǐng)域,可以用于光學(xué)元件表面形貌、復(fù)雜形狀的物體三維形貌和運動學(xué)研究等。

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產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

主要鏡組圖.png

主要鏡組圖


其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。


線性測量配置及使用方法

線性測量(線性軸位置精度測量的簡稱)配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成,可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中,線性測量包括定位精度測量、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等。


水平軸的線性測量示意圖.png

水平軸的線性測量示意圖

垂直軸的線性測量示意圖.png

垂直軸的線性測量示意圖


SJ6000靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成誤差補償表,該表涵蓋了各個測量點的補償值,運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差,精確的補償,可以有效地降低運動軸的位置誤差。

線性測量中目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標(biāo)采集和基于時間的目標(biāo)采集兩種方式,普遍采用基于位置的目標(biāo)采集方式,即:被測運動軸需設(shè)定若干個等距的定位點,當(dāng)運動軸移動到設(shè)定的定位點時,需設(shè)置停留時間,以供SJ6000測量軟件進行當(dāng)前點的數(shù)據(jù)采集。


線性測量應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機床、三坐標(biāo)、機器人、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備、線性位移平臺、精密機械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量。

傳感器線性精度測量.jpg

傳感器線性精度測量

測量線性精度.jpg

測量線性精度


產(chǎn)品功能

(1)可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;

(2)可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

(3)可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn);

(4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);

(5)SJ6000激光干涉測量系統(tǒng)具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;

(6)支持手動或自動進行環(huán)境補償。


技術(shù)規(guī)格

穩(wěn)頻精度0.05ppm
動態(tài)采集頻率50 kHz
預(yù)熱時間≤ 6分鐘
工作溫度范圍(0~40)℃
存儲溫度范圍(-20~70)℃
環(huán)境濕度(0~95)%RH
線性測量距離(0~80)m (無需遠距離線性附件)
線性測量精度0.5ppm (0~40)℃
角度軸向量程(0~15)m
角度測量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度軸向量程(0~15)m
平面度測量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m)
直線度軸向量程短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m
直線度測量精度短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度軸向量程短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m
垂直度測量精度短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m



注意事項:

平面度測量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組

平行度測量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組

直線度附件:主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

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