SuperViewW桌面式白光干涉光學(xué)輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短,確保了高款率檢測。
SuperViewW非接觸式3D白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。
SuperViewW白光干涉測量膜厚儀器3D重建算法自動濾除樣品表面噪點(diǎn),在硬件系統(tǒng)的配合下,測量精度可達(dá)亞納米級別。不通倍率的鏡頭,適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。
SuperViewW精密納米級白光干涉儀以白光干涉技術(shù)為原理,對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
SuperVirewW白光干涉表面3D輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。
SuperViewW國產(chǎn)白光干涉測量儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。
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