共聚焦顯微鏡在半導(dǎo)體行業(yè),精準(zhǔn)測(cè)量晶圓激光鐳射槽的三維輪廓
2023-05-04 半導(dǎo)體大規(guī)模生產(chǎn)過(guò)程中需要在晶圓上沉積集成電路芯片,然后再分割成各個(gè)單元,最后再進(jìn)行封裝和焊接,因此對(duì)晶圓切割槽尺寸進(jìn)行精準(zhǔn)控制和測(cè)量,是生產(chǎn)工藝中至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。共聚焦顯微鏡能應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝,能夠?qū)哂袕?fù)雜形狀和陡峭的激光切割槽的表面特征進(jìn)行非接觸式掃描并重建三維形貌。共聚焦顯微鏡具有高光學(xué)分辨率,通過(guò)清晰的成像系統(tǒng)能夠細(xì)致觀察到晶圓表面的特征情況,例如:觀察晶圓表面是否出現(xiàn)崩邊、刮痕等缺陷。電動(dòng)塔臺(tái)可以自動(dòng)切換不同的物鏡倍率,軟件自動(dòng)捕捉特征邊緣進(jìn)行二維尺寸快...光學(xué)輪廓儀在操作過(guò)程中,需要注意以下幾點(diǎn)
2023-04-23 光學(xué)輪廓儀是一種測(cè)量物體表面形狀的工具。它通過(guò)掃描物體表面,并記錄接收到的反射光信號(hào)來(lái)生成一個(gè)三維模型。原理基于三角測(cè)量法。當(dāng)激光束打在物體表面上時(shí),它會(huì)被反射回來(lái)并通過(guò)鏡頭進(jìn)入相機(jī)。根據(jù)反射光線的角度和入射點(diǎn)與相機(jī)之間的距離,可以計(jì)算出物體表面的坐標(biāo)。通過(guò)不斷移動(dòng)激光束和相機(jī),可以得到整個(gè)物體表面的三維坐標(biāo)數(shù)據(jù),從而生成一個(gè)完整的三維模型。光學(xué)輪廓儀具有許多優(yōu)點(diǎn)。首先,它可以非常精確地測(cè)量物體表面的形狀,可以達(dá)到亞毫米級(jí)別的精度。其次,它可以快速地測(cè)量大型物體的表面形狀,相...智能化驅(qū)使下,中圖儀器光學(xué)3D成像測(cè)量技術(shù)的創(chuàng)新應(yīng)用
2023-04-21 3D成像技術(shù)實(shí)現(xiàn)了二維到三維的升級(jí)。智能化制造下,具有3D成像功能的機(jī)器視覺(jué)系統(tǒng)可以更快,更準(zhǔn)確地檢查生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的組件。其中表面形貌的3D測(cè)量,包括了輪廓的測(cè)量以及表面粗糙度的測(cè)量,是微納結(jié)構(gòu)測(cè)量最為基礎(chǔ)和重要的項(xiàng)目。目前常用的微結(jié)構(gòu)表面形貌測(cè)量方法分為接觸式和非接觸式。運(yùn)用非接觸式測(cè)量技術(shù)的3D光學(xué)檢測(cè)儀器,大多是基于光學(xué)方法(干涉顯微法、自動(dòng)聚焦法、激光干涉法、光學(xué)顯微干涉法等),可對(duì)精密零部件的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸實(shí)現(xiàn)微納級(jí)測(cè)量,在微納米結(jié)構(gòu)檢測(cè)中有著重要意義。...SJ5780輪廓掃描測(cè)量?jī)x全自動(dòng)在線檢測(cè)航空發(fā)動(dòng)機(jī)連接螺紋
2023-04-21 航空發(fā)動(dòng)機(jī)是一種高度復(fù)雜的精密熱力機(jī)械。作為飛機(jī)飛行的動(dòng)力,高性能航空發(fā)動(dòng)機(jī)追求的是在有限的自身重量和工作空間,以及惡劣的工作條件下,達(dá)到長(zhǎng)期穩(wěn)定的服役性能,所以它的設(shè)計(jì)、材料與制造技術(shù)的進(jìn)步起著關(guān)鍵性的作用。在航空發(fā)動(dòng)機(jī)上,存在較多的通過(guò)螺紋連接方式連接的部件,所以作為發(fā)動(dòng)機(jī)零部件之間的連接,對(duì)高強(qiáng)度連接螺紋的加工精度和表面質(zhì)量要求很高。中圖SJ5780在線智能螺紋輪廓掃描測(cè)量?jī)x是一款大量程、高精度的主動(dòng)掃描式綜合輪廓測(cè)量?jī)x,可對(duì)航空發(fā)動(dòng)機(jī)零部件高強(qiáng)度連接螺紋工件實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場(chǎng)全...共聚焦顯微鏡——光伏產(chǎn)業(yè)制造智能化測(cè)量新技術(shù)
2023-04-17 我國(guó)智能光伏應(yīng)用持續(xù)升級(jí),產(chǎn)業(yè)各環(huán)節(jié)產(chǎn)量又創(chuàng)新高。根據(jù)光伏行業(yè)規(guī)范公告企業(yè)信息和行業(yè)協(xié)會(huì)預(yù)測(cè)的數(shù)據(jù)來(lái)看,全國(guó)多晶硅、組件產(chǎn)量同比增長(zhǎng)均超過(guò)60%,晶硅電池產(chǎn)品出口同比增長(zhǎng)超過(guò)156%。作為全尺寸鏈精密測(cè)量?jī)x器制造商,為加快推進(jìn)產(chǎn)業(yè)智能制造和現(xiàn)代化水平,有效提升光伏產(chǎn)業(yè)智能制造水平,中圖儀器VT6000共聚焦顯微鏡可以為太陽(yáng)能行業(yè)實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)過(guò)程檢測(cè)需求服務(wù),提供從二維到三維的多尺度檢測(cè)手段。VT6000共聚焦顯微鏡以針孔共聚焦技術(shù)為原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對(duì)...關(guān)注公眾號(hào),了解最新動(dòng)態(tài)
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