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CEM3000系列高空間分辨率臺式掃描電鏡是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設(shè)備。其抗振設(shè)計，在充滿機械振動和噪音的工業(yè)環(huán)境中依舊穩(wěn)如泰山，不管是高樓的實驗室，還是有一定振動的生產(chǎn)車間等非常規(guī)電鏡使用環(huán)境，都能拍攝出清晰、高分辨率的圖像。

SuperVIewW納米級白光干涉三維形貌分析測量儀具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。

VT6000材料3D觀察測量共聚焦顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，在相同物鏡放大的條件下，共焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細節(jié)更清晰更微細，橫向分辨率更高。它具有直觀測量的特點，能夠有效提高工作效率，更加快捷準確地完成日常任務(wù)。

CEM3000大空間適用性臺式掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結(jié)果。其抗振設(shè)計，在充滿機械振動和噪音的工業(yè)環(huán)境中依舊穩(wěn)如泰山，拍攝出清晰、高分辨率的圖像。

NS系列高精度薄膜臺階測量儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。在膜厚測量方面，它是利用光學(xué)干涉原理，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度，具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點。

VT6000光學(xué)顯微共聚焦顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。