SuperViewW白光干涉非接觸式輪廓儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測量儀器。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。
Nano Step系列晶圓探針式輪廓儀臺(tái)階儀采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC,具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,同時(shí),其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。
SuperViewW納米白光干涉儀微尺寸檢測儀基于白光干涉原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括表面形貌和幾何特征。
VT6000材料檢測3D成像共聚焦顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理,用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量,可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。
SuperViewW白光干涉輪廓形貌粗糙度測量儀復(fù)合型EPSI重建算法,解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下,只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn),即可自動(dòng)掃描,重建其超光滑的表面區(qū)域,不見一絲重疊縫隙。
中圖儀器NS系列柔性電子器件薄膜測量臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。
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