在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中,VT6000光伏檢測儀器3D顯微鏡輪廓儀用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。它基于光學(xué)共軛共焦原理,結(jié)合精密縱向掃描,以在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像,從而進行分析的精密光學(xué)儀器,一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測,可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。
SuperViewW1中圖儀器三維白光干涉儀用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量,在半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。
NS系列臺階儀測量薄膜厚度儀器是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。
中圖儀器VT6000系列共聚焦成像顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理,結(jié)合精密縱向掃描,以在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像,從而進行分析的精密光學(xué)儀器,一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測,可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。
SuperViewW系列3d白光形貌干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
VT6000國產(chǎn)共聚焦顯微鏡微觀形貌觀察基于光學(xué)共軛共焦原理,結(jié)合精密縱向掃描,以在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像,從而進行分析。
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