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SuperViewW1國產(chǎn)三維白光干涉儀以白光干涉技術(shù)原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測量，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

SuperViewW1國產(chǎn)白光干涉顯微鏡以白光干涉技術(shù)為原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測量。

VT6000激光共聚焦顯微成像儀配備了真彩相機(jī)并提供還原的3D真彩圖像，對(duì)細(xì)節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn)。儀器整體結(jié)構(gòu)簡單，由一臺(tái)輕量化的設(shè)備主機(jī)和電腦構(gòu)成，控制單元集成在設(shè)備主機(jī)之內(nèi)，亦可采用筆記本電腦驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了“拎著走”的便攜式設(shè)計(jì)。

中圖臺(tái)階儀應(yīng)用場景適應(yīng)性強(qiáng)，其對(duì)被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求，能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位，其對(duì)表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征，對(duì)于相關(guān)材料的評(píng)定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。

在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中，VT6000轉(zhuǎn)盤共聚焦高分辨率顯微鏡結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW1白光干涉儀檢測儀提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測量功能；自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等；以及自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區(qū)域測量功能。是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測量的檢測儀器。